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연구자료
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제목 EDS - X-Ray
작성자 김진희 이메일 전송 조회 339 작성일 2019/02/27 18:26
첨부파일(1)
EDS - X-Ray

EDS의 장점
-조작이 간단
-낮은 전자빔 전류로도 분석 가능
-검출 가능한 모든 원소를 한번에 검출
-검출기의 위치상의 제약이 크지 않은
-분석이 빠름

EDS의 단점
-피크 중첩이 심함
-P/B가 낮아 원소 검출 한계가 약 0.1wt%로 낮음-> 적은 양을 분석하기가 적합하지 않음

E-Beam에 의한 전자 이탈
-시료에 조사된 전자빔에 의해 원소의 K각에 있는 전자가 이탈
-상위궤도 ( K각, L각 )에 있는 전자에 의해 K각이 채워지는데, 이때, 발생하는 에너지 방출이 X-ray 발생임.

특성 X-ray ( characteristic X-ray )
-X- ray의 Energy (혹은, 파장)은 각 원소별도 차이가 있으며, 특성 X-ray라고 부른다.
-특성 X-ray를 이용하여 시료내 포함되어 있는 원소의 유무 ( 정성분석) 과 특성 X-ray의 강도(intensity)를 이용하여 정량분석을 할 수 있다.

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