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연구자료
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제목 What is the SEM?
작성자 김진희 이메일 전송 조회 163 작성일 2019/02/27 17:52
첨부파일(1)
What is the SEM?

주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope)

집속된 전자빔을 시료표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해서 발생되는 이차 전자 혹은 후방산란전자를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비
단파장의 전자빔을 사용 :
분해능 우수, 진공 상태 유지   

전자탐침의 형성 및 조작이 간편 :
전자기렌즈로 미소탐침 형성

전자빔과 원자와의 반응이 강하며 다양한 신호가 발생:
화학분석 가능

삼차원 영상:
깊은 피사계 심도

넓은 범위의 배율:
10배~1,000,000배, 다양한 배율 구현 가능

시편 제작이 용이

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